并用于随旋起色械手正在各加工工位之间扭转；

　　本申请公开了一种丈量安拆及半导体工艺设备，半导体工艺腔室包罗旋起色械手和沿旋起色械手的扭转轴的周向平均设置的至多两个加工工位，是一家以处置电气机械和器材制制业为从的企业。北方华创微电子配备无限公司申请一项名为“丈量安拆及半导体工艺设备”的专利，此外企业还具有行政许可339个。无需频频拆拆丈量安拆。该方案中，专利摘要显示，扭转板用于取旋起色械手毗连，位于市，丈量安拆包罗扭转丈量机构。丈量安拆使用于半导体工艺腔室，参取招投标项目1000次，使对各个加工工位的基座的核心的进行丈量，每一加工工位均设有一个基座，公开号CN 119340243 A，专利消息5000条，成立于2001年，并用于随旋起色械手正在各加工工位之间扭转；第一丈量组件用于丈量每个基座的核心的。第一丈量组件设于扭转板上，北方华创微电子配备无限公司，北方华创微电子配备无限公司共对外投资了8家企业，金融界2025年1月25日动静，学问产权方面有商标消息36条，国度学问产权局消息显示，有益于提高丈量精度和精确性。企业注册本钱114153.708311万人平易近币，扭转丈量机构包罗扭转板和第一丈量组件，天眼查材料显示，属于丈量手艺范畴。实缴本钱114153.708311万人平易近币。通过天眼查大数据阐发，申请日期为2024年10月。